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半導體

    當今世界,半導體、平板顯示器(FPD)、太陽能電池等領域的技術(shù)革新正取得驚人的進歩。半導體裝置向高集成化方向發(fā)展,其電路的小寬度從45納米向32納米縮小。而FPD,則向大型化的方向發(fā)展,正在進行第8代(2500毫米×2300毫米)到第10代產(chǎn)品的設備投資。隨之而來的,是對半導體制造裝置及FPD制造裝置等所使用的軸承、直動式產(chǎn)品、機電一體化產(chǎn)品的功能要求越來越高,如低發(fā)塵性、低排氣性、耐熱性、耐蝕性等。
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當今世界,半導體、平板顯示器(FPD)、太陽能電池等領域的技術(shù)革新正取得驚人的進歩。半導體裝置向高集成化方向發(fā)展,其電路的小寬度從45納米向32納米縮小。而FPD,則向大型化的方向發(fā)展,正在進行第8代(2500毫米×2300毫米)到第10代產(chǎn)品的設備投資。隨之而來的,是對半導體制造裝置及FPD制造裝置等所使用的軸承、直動式產(chǎn)品、機電一體化產(chǎn)品的功能要求越來越高,如低發(fā)塵性、低排氣性、耐熱性、耐蝕性等。

有效運用材料技術(shù)、潤滑技術(shù)、清潔技術(shù)、表面改質(zhì)技術(shù)、精密導向技術(shù)核心技術(shù)開發(fā)出的可在真空、清潔、高溫、腐蝕等工況下使用的“SPACEA?系列: 特殊工況用軸承、滾珠絲杠、直線導軌”的產(chǎn)品陣容,在為各種裝置的高功能化及高性能化做貢獻的同時,還致力于解決環(huán)保課題。


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